真空穿墙绝缘电极

参数指标（CF35基座/可更换高压电极模块）

• 法兰接口： CF35（密封面无氧铜垫圈）
• 电极模块接口： M12×1螺纹锁紧
• 导体材质：可伐合金（表面镀金）
• 绝缘体：95% Al₂O₃
• 漏 率： ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
• 烘烤温度： 250℃（含密封元件）
• 额定电压： 5 kV (DC)
• 额定电流： 10 A
• 可更换次数： ≥20次（密封件寿命周期）

产品介绍

　　分体式真空馈通电极采用电极芯与法兰基座分离的可拆卸结构设计，旨在解决传统一体式馈通组件在电极损坏或需求变更时需整体更换的问题。该结构允许在不拆卸法兰本体、不破坏真空腔体完整性的前提下，单独更换或升级电极模块，显著降低维护成本与系统停机时间。电极芯体仍沿用金属-陶瓷封接工艺，确保真空完整性与电学绝缘性能；法兰基座可适配CF、KF、ISO等多种标准接口，为复杂真空系统提供高度灵活的供能解决方案。

技术特征

　　模块化结构：电极组件与法兰座体通过螺纹、卡口或压紧机构实现可拆卸连接，更换电极无需重新进行氦质谱检漏或烘烤除气。
　　法兰兼容性：基座可选标准CF、KF、ISO法兰接口，或按需定制非标法兰，满足不同真空级别与装配空间的适配要求。
　　电极多样性：同一法兰基座可兼容单芯高压、同轴射频、多芯信号、热电偶馈通等不同电极模块，电极材料可选钨、钼、可伐合金、不锈钢等，适应电流范围从微安级至百安级。
　　真空性能：电极与基座间的密封采用金属垫圈或弹性体O型圈（视真空等级而定），氦质谱检漏漏率可优于1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（CF型）或1×10⁻⁹ Pa·m³/s（KF型），多次拆装后密封性能无显著劣化。
　　电学特性：极间绝缘电阻≥1×10¹² Ω，绝缘体为高纯氧化铝陶瓷，可耐受150℃至400℃烘烤（取决于密封元件），介电强度满足高压工况需求。
　　维护经济性：单支电极损坏可独立更换，无需废弃整个法兰组件，尤其在多针密集排列时节省显著。

典型应用场合

　　薄膜沉积设备（溅射、蒸发源供电）、离子源与电子枪、真空电弧炉、高温真空炉加热电极、等离子体实验装置、需要频繁变更电学配置的科研真空系统。