本产品为已完成表面金属化处理的高纯氧化物及氮化物陶瓷零件,作为陶瓷-金属封接的前置工序半成品,供客户自行完成后续钎焊装配。通过在陶瓷表面特定区域制备致密金属化层,使原本无法被常规钎料润湿的陶瓷表面具备可钎焊性,是实现陶瓷与金属可靠封接的关键工艺环节。产品涵盖氧化铝(95%-99.7% Al₂O₃)、氮化铝(AlN)及可加工玻璃陶瓷等基材,金属化体系包括Mo-Mn法、W-Mn法、活性金属法及厚膜金属化等多种技术路线,可根据客户后续使用的钎料类型、气氛条件及服役温度进行匹配选型。
金属化方法选型:提供Mo-Mn烧结金属化(适用于氧化铝陶瓷,烧结温度1300-1500℃,还原气氛),W-Mn金属化(适用于氮化铝陶瓷),活性金属化(Ti、Zr、Hf基,真空烧结,无需二次镀镍),以及厚膜金属化(Ag-Pd、Ag-Pt浆料烧结,适用于中低温钎焊场景)。各方法可依据基材特性与钎焊工艺匹配推荐。 金属化层性能:Mo-Mn金属化层厚度10-25 μm,晶粒尺寸1-5 μm,与95%氧化铝基体抗拉强度≥70 MPa;二次电镀镍层厚度2-5 μm,表面粗糙度Ra 0.4-0.8 μm,满足Ag-Cu共晶及Au基钎料的润湿铺展要求。活性金属化层厚度3-10 μm,成分梯度过渡,界面无脆性相聚集。 几何精度:金属化图形精度±0.05 mm(丝网印刷法)至±0.02 mm(光刻-薄膜沉积法),适用于小至Φ0.5 mm的微孔内壁金属化及细间距多针阵列图案。可加工环形、矩形、台阶孔及通孔-盲孔复合图形。 基材覆盖范围:95% Al₂O₃(通用型,经济性优),99% Al₂O₃(低介损,适用于高频),99.7% Al₂O₃(高纯,低释气),AlN(高导热),石英玻璃与蓝宝石(光学窗口金属化),可加工玻璃陶瓷(可机械加工后金属化)。 质量一致性:每批次抽样进行钎焊验证测试——以Ag72Cu28钎料在800-830℃真空钎焊标准可伐试片,接头剪切强度≥100 MPa,氦质谱检漏漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。可提供SEM截面形貌、EDS成分线扫及XRD物相分析报告。 交付形态:金属化陶瓷零件以洁净包装交付,表面已做防氧化处理,推荐客户在60日内完成钎焊工序。可按客户图纸定制金属化图形,提供带定位夹具的批量供货方案。
真空馈通组件制造商的陶瓷绝缘子预制、电真空器件(速调管、行波管)陶瓷窗与支撑杆、半导体设备陶瓷静电吸盘电极引出、功率电子器件陶瓷基板与壳体封接、光纤穿通密封件陶瓷插芯、X射线管与中子管绝缘体。
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